低溫閃蒸成膜儀在鈣鈦礦成膜實驗中的應用

低溫閃蒸成膜儀  基于在恒定低溫襯底上調控鈣鈦礦中間態薄膜的生長，減緩結晶過程，從而實現大規模制備高質量的均勻鈣鈦礦薄膜，同時避免了環境溫度對薄膜質量的影響。

核心作用 精準的低溫控制，突破熱敏感材料限制(-5°C低溫成膜)

☆有效抑制鈣鈦礦前驅體的熱分解，保護熱敏感材料

☆延緩結晶速率，減少薄膜缺陷(如針孔、晶界），提升致密度如Sn-Pb窄帶隙鈣鈦礦

☆適配柔性基底，避免PET等材料變形，同時減少與有機傳輸層的界面互溶,適配柔性基底與異質結

☆精密溫控確保大面積薄膜成分均勻，從根本上消除溶液法常見的"咖啡環"效應，實現高重復性的高質量成膜

武漢君為JW-100SZ低溫閃蒸成膜儀

技術參數:

1. 外形尺寸:約 370X230X260mm

2.  極限真空度: ＜5Pa

3. 內腔高度 20mm

4. 抽速： 10 秒到 10Pa內（不含揮發性試劑的空載狀態）

5. 基片尺寸:100*100mm 以內基片可放置厚度 15mm 樣品;

6. 樣品臺大小:130x130mm;Ф100mm

7. 控溫范圍：-5℃ 到 90℃

8. 抽氣接口:設備后面出口KF25 接口;

9. 進氣接口:破真空氣路 6mm 快插接口

10. 制冷機 寬電壓輸入 220-240V AC    1.4Kw

11. 標配油泵抽速：24立方米/小時（更大功率可選）

12. 操作系統: 5寸彩色觸摸屏，可根據需求選擇快抽或恒壓模式

13.主機電源輸入:AC220V,150W;

14.整機重量：21KG

15.配件：真空泵一臺，冷水機一臺，各管路接口閥門一套。

核心技術優勢：基于真空閃蒸技術，具備-5°C~90°C精準溫控功能。其獨特氣流導室設計可快速建立真空環境，

實現材料瞬時氣化并在低溫襯底上高效成膜，專為制備高質量鈣鈦礦薄膜而優化，是鈣鈦礦太陽能電池(PSCs)制備的

關鍵工藝設備。